DUV/VIS/NIR光谱图型椭偏仪SE800DUV
简介：简单信息： SE800DUV深紫外主要用于研究超薄膜、表面粗糙度，并可研究温度、应力、张力、掺杂、组份、晶态等对材料禁带宽度的影响；深紫外也可研究AlGaN, AlN等宽禁带材料，测量膜厚0-10nm。可见光可测量折射率梯度。选件请参考SE...
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- 产品介绍
光谱范围: 190 nm - 950 nm
SE 800 DUV 针对要求苛刻的应用而设计，如玻璃上的极薄透明膜，平板印刷中的光刻胶材料和减反射膜，透明或吸收基底上的多层膜，高级微电子应用比如SOI，ONOPO和高k值材料。各向异性材料和非均匀样品也能够被分析。
SE 800DUV 是基于在紫外-可见光-近红外波段的快速二极管阵列探测器高性能光谱椭偏仪，能够快速获得数据并在全波段解析，配置了高精度延迟器和电脑控制起偏器。SE 800DUV基于步进扫描分析操作原理。分析器由光栅和光电二极管阵列组成。
SE 800DUV的深紫外概念被设计针对低散射光线，对低反射样品也有很高灵敏度。
主要应用
·测量单层膜或多层膜的厚度和折射率。
·测量化合物薄膜，比如SiOxNy, AlGaN
·在紫外-可见光-近红外波段测量材料的光学性质
·测量指数梯度
·测量膜表面和界面间粗糙程度
·确定材料成分
·分析较厚的膜，厚度范围可到30微米
·适合测量In搀杂半导体材料 (InP, InGaAs, InGaAlAs, InN)
选项
·紫外光谱扩展选项，280 - 850 nm
·近红外光谱扩展选项，1700 - 2300 nm
·电脑控制高性能消色差补偿器，针对紫外-可见光波段
·电脑控制起偏器
·电脑控制自动角度计, 40º-90º, 精度0.01º
·手动x-y载物台，150 mm行程
·电机驱动x-y载物台，行程50 mm - 200 mm, SENTECH地貌图扫描软件
·透射测量样品夹具
·摄象头选项，用于样品校准和表面监测
·液体膜测量单元
·反射式膜厚仪 FTPadvanced, 光斑直径80 mm
·微细光斑选项
·自动对觉选项，结合地貌图扫描选项
·SENTECH 标准样片
·附加许可，使 SpectrRay II 软件可以用于多台电脑
光谱椭偏仪软件SpectraRay II
SpectraRay II 操作软件基于windows系统，包括全面的的建模、仿真和拟合软件包，操作向导，自动输出结果，单键操作，使软件界面友好并使椭偏仪操作简易。
通过操作向导，能够使操作变得简单。操作向导能够指导用户完成标准测量过程：测量数据、惊醒拟合并输出结果。 操作向导能够将复杂的测量、拟合设置变德简易。
SpectraRay II 软件也能够进行反射光谱测量和透射光谱测量。
报告向导能够自动完成将测量结果输出到一个web文件。
商品名称： DUV/VIS/NIR光谱型椭偏仪
商品型号： SE800DUV
