分析任意大小的样品
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使用传统EBSD探测器很难分析大样品,因为它们需要在SEM的长工作距离(WD)下进行分析,这会损害标准EBSD几何位置
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Symmetry S2有软件控制倾斜,可为每种样品类型定位于其理想的几何位置,从TEM薄片到厘米尺度样品(如原位测试样品或地质薄片)
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该面分布图显示了来自大型力学测试的Ti64合金样品的EBSD数据,晶粒取向数据用于计算加载方向的杨氏模量
电子背散射衍射(EBSD)是一种基于扫描电子显微镜(SEM)),提供样品显微结构晶体学信息的技术。在EBSD中,电子束与倾斜的晶态样品相互作用,形成衍射花样。衍射花样可以通过荧光屏探测到,它具有所产生处样品的晶体结构和取向特征。因此,衍射花样可用来确定晶体结构及取向、区分晶体上不同的相、表征晶界、和提供有关局部结晶完整性的信息。
EBSD已成为SEM中的一个出色的附件,常用来提供晶体学信息。EBSD广泛地应用于许多不同的领域,以帮助材料表征,如下表所示。
AZtec EBSD系统结合了EBSD( Symmetry )的速度和灵敏度以及 AZtecHKL软件出色的分析性能,为电子背散射衍射(EBSD)和透射菊池衍射(TKD)分析提供了一种功能强大、用途广泛的工具。
行业 |
材料 |
典型的EBSD测量 |
金属研究和加工 |
金属,合金 |
晶粒尺寸 |
航天 |
金属间化合物 |
晶界表征 |
汽车 |
夹杂物/沉淀物/第二相 |
体织构 |
核能 |
陶瓷 |
局部织构 |
微电子 |
薄膜 |
CSL晶界表征 |
地球科学 |
太阳能电池 |
再结晶或形变率 |
科研领域 |
地质 |
亚结构分析 |
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半导体 |
相鉴定 |
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超导体 |
相分数和相分布 |
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冰 |
相变 |
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金属和陶瓷复合材料 |
断口分析 |
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骨头,牙齿 |
晶粒和相间的取向与取向差关系 |