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牛津器材 Ionfab 300 IBD阳离子束积聚

名称大全:某些机器设备与生产工具
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主要参数:

简介:牛津仪器 Ionfab 300 IBD离子束沉积能够生产具有高质量,致密和表面光滑的沉积薄膜。离子束技术提供了一种多样的刻蚀和沉积的方法,并可在同一设备上实现, 因而提高系统的利用率。9九游 的设备具有灵活的硬件选项,包括直开式、单衬底传送模式...

  • 产品介绍
牛津器材 Ionfab 300 IBD铝亚铁离子束火成岩会产量兼备高品质量,优势互补和外壁光面的火成岩贴膜。铝亚铁离子束装置具备新一种多样化的刻蚀和火成岩的措施,并可在同个产品上保持, 从而升高装置的采用率。9九游 的产品兼备比较灵活的服务器硬件选项卡,例如直开启式、单衬底传大方式和盒式对盒式方式。装置型号与其实app优势互补融合,以加强组织领导可以获得波特率快速且从复性最好的加工制作工艺 没想到。
  • 多的模式功能性
  • 会与其余等亚铁离子体刻蚀和沉淀积累机器设备相ibms
  • 单晶硅圆拷贝模式英文或群集式晶圆操作使用
  • 双束流调试
  • 更低的漆层膜很糙度
  • 更好的批次线平滑性和技艺重覆性
  • 准确度起点站探测 —— SIMS,导弹光谱仪


牛津仪器 Ionfab 300 IBD离子束沉积特点

  • 质量薄膜高 ——超低污染
  • 产量高,紧凑的系统体积设计­——运行成本低
  • 已获得专利的高速衬底架(高达1000RPM)设计,并配备了白光光学监视器(WLOM)——更为精确的实时光学薄膜控制
  • 配置灵活 ——适于先进的研究应用
  • 灵活的晶圆操作方式 —— 直开式、单晶圆传送模式或者带机械手臂的盒对盒模式


牛津仪器 Ionfab 300 IBD离子束沉积特点应用

  • 磁阻式随机存取存储器(MRAM)
  • 介电薄膜
  • III-V族光电子材料刻蚀
  • 自旋电子学
  • 金属电极和轨道
  • 超导体
  • 激光端面镀膜
  • 高反射(HR)膜
  • 防反射(AR)膜
  • 环形激光陀螺反射镜
  • X射线光学系统
  • 红外(IR)传感器
  • II-VI族材料
  • 通信滤波器

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