牛津器材 Ionfab 300 IBD铝亚铁离子束火成岩会产量兼备高品质量,优势互补和外壁光面的火成岩贴膜。铝亚铁离子束装置具备新一种多样化的刻蚀和火成岩的措施,并可在同个产品上保持, 从而升高装置的采用率。9九游
的产品兼备比较灵活的服务器硬件选项卡,例如直开启式、单衬底传大方式和盒式对盒式方式。装置型号与其实app优势互补融合,以加强组织领导可以获得波特率快速且从复性最好的加工制作工艺 没想到。
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多的模式功能性
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会与其余等亚铁离子体刻蚀和沉淀积累机器设备相ibms
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单晶硅圆拷贝模式英文或群集式晶圆操作使用
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双束流调试
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更低的漆层膜很糙度
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更好的批次线平滑性和技艺重覆性
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准确度起点站探测 —— SIMS,导弹光谱仪
牛津仪器 Ionfab 300 IBD离子束沉积特点
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质量薄膜高 ——超低污染
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产量高,紧凑的系统体积设计——运行成本低
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已获得专利的高速衬底架(高达1000RPM)设计,并配备了白光光学监视器(WLOM)——更为精确的实时光学薄膜控制
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配置灵活 ——适于先进的研究应用
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灵活的晶圆操作方式 —— 直开式、单晶圆传送模式或者带机械手臂的盒对盒模式
牛津仪器 Ionfab 300 IBD离子束沉积特点应用
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磁阻式随机存取存储器(MRAM)
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介电薄膜
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III-V族光电子材料刻蚀
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自旋电子学
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金属电极和轨道
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超导体
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激光端面镀膜
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高反射(HR)膜
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防反射(AR)膜
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环形激光陀螺反射镜
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X射线光学系统
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红外(IR)传感器
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II-VI族材料
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通信滤波器