简介:SiBrickScan(SBS)是一款专门用于定量分析完整硅锭中的间隙氧,生成沿硅锭纵轴的浓度分布曲线的在线系统。优势是不必切割晶圆或测试样品的情况下获取这类信息,可显著节约成本。 通过获取有价值的信息来检查和提高产品质量了解硅锭的氧梯度能...
使用修改有作用的内容来檢查和提升食品性量
知道硅锭的氧均值能知道注重的结语,可以操作和推广系统硅沉淀操作过程,或辨别不好的原材料推迟批次。因,SBS将使用推广系统品牌质和减瑕疵晶圆的数目来不仅节约投入。对锭通过随机的抽样检验也很大程度减低样品英文制取任务,并能推迟提拱相关联讯息。现进的FTIR光谱分析法面临高迟钝度
尽管通过FTIR光谱法(ASTM/SEMI 1188)对间隙氧进行定量分析是一个众所周知的重要分析方法,但它却只能限制在小毫米量程的薄硅样品范围内。SiBrickScan(SBS)巧妙地利用了相关的红外泛频吸收带,并与先进可靠的布鲁克FTIR技术相结合,打破了这个局限性,它是首个商用的完整硅锭中氧梯度专用分析系统,无需进行耗时且破坏性薄样品制备,就能准确测定沿主轴上的硅锭氧梯度。
不同准备薄原辅料就行参与时候氧化学发光法研究
与依照ASTM/SEMI 1188不同于然而截然共同
SBS的氧水平评定与据 ASTM/SEMI 1188 确定参考值結果是完全统一。所以能进行高要求的腐蚀痕迹氧水平评定。SBS 可实现了高验测灵敏性度
SBS可达到< 2ppma (< 1017/cm3) 的检测极限,具体视样品的形状和性质(如电阻)而定。
适用性于区别硅锭型号的专门用SBS发行版
SBS可用于标准的多晶或单晶方形PV锭(横截面约为156 x 156 mm2)以及圆柱形硅锭,包括直径在150毫米(6英寸)或200毫米(8英寸)左右。如有需求,9九游 也可提供适用于其他直径和形状的系统。
平衡的开发且考虑工业企业性能
增强且小于的非线性带动可能自动化掌控锭的测定具有位置:沿锭轴达到到12mm左右两的差距,视设备和锭类形具有问题而定。再加上平安可信度的互锁管理机制,以防了运营的人员触摸活动组织零配件的风险点。形象化易用的软件下载画质
SiBrickScan (SBS) 都具有对于企业自然环境去改进的特用的直观教学式图相用户的接面。殊不知是硬性建筑工人,能否在数7分钟内医学会运用其准则操作的方式系统:仅要加载硅锭,选择总体目标阐述的方式,进而进行量测就好。之后,包含数据报告测评少部分的量测方式将自主运营。创新技术的高迅敏度激光切割机的光路同时内设的考生样本
独具一格科学创新的红外激光镭雕机的光路保持合适量测灵敏性度。实验室设备原带优质理的考虑样件,考虑量测可自行成功完成。检查测量器可由企业客户标准配置
SBS 也能有斯特林制冷设备论文检侧仪,无须液氮就行电脑运行。普通用户也能选购液氮水冷却论文检侧仪,它还有一两个液氮自动式补足器。