布鲁克 Cryosas 地温硅研究分析体统
分类：光谱仪仪
品牌形象：
款式：
简介：CryoSAS 内置了一个布鲁克高性能的傅立叶红外光谱仪，闭循环的低温制冷技术，不需要液氦。所有CryoSAS部件都是最先进的，其最新的技术满足了多晶硅生产环境中的艰难分析工作。CryoSAS 能够实现高水平的全自动操作，包含准确的报告及分...
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- 产品介绍
CryoSAS 嵌入打了个个布鲁克高特点的傅立叶红外光谱仪仪，闭间歇的低溫安真小编枝术，不必须液氦。所有CryoSAS核心部件是需要进的，其新的枝术考虑了多晶硅生育室内环境中的艰险具体进行分析工做。CryoSAS 能够改变高质量的全智能基本操作，主要包括更准的评估及具体进行分析毕竟。
高灵敏性度：
CryoSAS 通过ASTM/SEMI MF1630细则研究分折浅表杂质残渣（比如硼、磷……），浓硫酸质量浓度可低至ppta标。于此，通过ASTM/SEMI MF1391细则，是可以研究分折碳/氧份量，浓硫酸质量浓度可低至ppba标。
闭配置环境温度致冷空调平台：不想要浪费低廉的环境温度致冷空调剂
不锈钢设计样品仓：
方便样品替换
机械泵及涡轮泵的结合：
简单清洁的真空系统
稳固的9个试样三角架及细密的步进电机起动电机：
稳定的转移平台及支架支持多样品分析，高性能马达及固体机械系统确保精确的样品测试。样品及样品架在样品仓内的安装非常容易。特殊设计的镀金OFHC 铜样品架保证了温度的均一性。
易用性：
CryoSAS 提供数据了可代替于行业工作环境的简便的控制。几乎所有的进口正空和制泠进行的模式都由软件程序的控制。冷却后和展开测定是简单的按钮开关的控制。的控制者不用再是光谱分析仪医学科研专家可能进口正空进行的模式医学科研专家。专用工具的CryoSAS 工具压根要根据工农业安全性能掌控装修设计。它还还可以借助触屏屏进行操作步骤。进行操作步骤者只需考虑喜欢的分享的办法、录入产品的样品管理信息内容，最后按已经控制键如要开启预估。CryoSAS 还还可以全东莞激光切割管机的放凉产品的样品管理并已经红外预估、好评结论、绘制分享评估报告。工艺规格
光谱范围：1500-280 cm-1 检测器最佳的测试范围
依据ASTM/SEMI MF1630标准测试单晶硅的III族 和 V族浅层杂对于3mm厚的楔形样品，可达检测限为：
- 10 ppta 磷
- 30 ppta 硼
- 依照ASTM/SEMI MF1391规则化测量使用碳。此方式 必须要FZ法治社会备的无碳规则化试样甚至钢板薄厚和表皮都能够比的待测试样。谈谈钢板薄厚为3mm的楔形试样，碳浓硫酸浓度检测工具低限达20 ppba
