Keithley吉时利 参数测试系统S530

Keithley吉时利 参数测试系统S530采用了成熟的源和测量技术，可满足工艺控制 监测、工艺可靠性监测以及器件特性分析所需的全部直流和C-V测量。
 

Keithley吉时利 技术指标考试设备S530其主要优势:

• 半导体行业最具性价比的全自动 参数测试仪
• 专门针对各种产品混合的环境而 优化设计，这种环境下的高度灵 活性和测试规划的快速制定至关 重要
• 可选择小电流和高电压系统配置
  – 小电流配置支持测量小电流特性，例如亚阈值漏流、栅极漏流等
  –高电压配置专门针对监测 GaN、SiC和 Si LDMOS 功率器件的工艺而优化设计
• 兼容常见的全自动探针台
• 脉冲产生、频率测量，以及低电 压测量的仪器选件
• 接线引出（Cabled-out）测试仪 配置最大限度地提高了探针台接 口的灵活性，并扩展了电压量程
  –兼容吉时利的9139A型探针卡适配器
  –支持现有5英寸探针卡库的重用
• 久经考验的仪器技术确保在实验 室和工厂环境下均可获得高测量 准确度和重复性

针对高混合测试环境优化设计

S530参数测试系统专门针对那些必须面对各种器件和技术的生产和实验室 环境优化设计，具有业内领先的测试规划灵活性、自动测试功能、探针台集成， 以及测试数据管理能力。这些测试解决方案的设计凝聚了吉时利30多年为全球 范围内客户提供各种各样的标准和定制参数测试系统的宝贵经验。
 

简单的软件迁移和高度的硬件重用

S530机器设备的构思促使和简易化了机器设备开机启动时，并保证了替换成自测信息的最 大应运。举例，掌控这机器设备的app软件兼容有很多推出和堆积的一键电极台，所以说 就节省了买新机器设备的价格。还有就是，S530的布线引出来（cabled-out）调试大部分 允许的已经食用替换成的电极卡库。多列自选的应运服务保障，能够让微信粉丝充沛巧用 替换成电极仪和电极卡投入资金的其他总价值。吉时利还可让微信粉丝加速的开发计划的自测 调试，或将替换成自测调试转型适用S530机器设备。

半导体行业最强大的标准参数测试系统

提供两种不同的系统配置，能够满足不同的参数测试应用环境。S530小电 流系统可配置2至8路源测量单元（SMU）通道，具有亚皮安级测量分辨率，并 为探针卡提供了全面的小电流保护，使其非常适合于亚微米MOS硅工艺的特性分析。S530高电压系统可配置3至7路SMU通道，能够源出高达1000V的电压，可用于汽车电子和功率管理器件所需的各种击穿和漏流测试。

所有 S530国产系統的都配有有吉时利历尽验证的大马力SMU，在200V和20V量 程均可供给可以达到20W源出或吸进去力量，这款马力层次9九游 对现如今的转动系統中广泛有着 的大马力电子元集成电路芯片及电源电路的完整详细优点阐述至关决定性。不论什么是检查LDMOS Si 或者GaN BJT的使用，这款大马力力量都供给了对电子元集成电路芯片安全性能的大因而性。这预示着S530系 统既可对付大马力电子元集成电路芯片检查，又没有干扰监测站大众化电子元集成电路芯片方法需用的小电压亚皮安灵 敏度。较之之上，价格竞争参数值检查系統的却受限制于中低档马力的2W SMU实验仪器，由于不是 与S530系統的的使用区域相提并论。

完全开尔文标准配置

致使接口类型拖链电缆和径路上线电流值降的原因分析，因此高与一些毫安的电流值就是形成预估 精度，为防控一些预估删改性的回落，小电流值和高线电流值S530机机系统在探头卡均带来了 基本开尔文预估设置（也喻为远端线电流值检侧）。基本开尔文预估对於确保安全S530机机系统 里面大电率SMU检测仪器的20W性能的预估最准度通常极为重要。

业内最强大的高电压参数测试系统

S530高线电流大小电压电流大小电压工作电流大小电流大小电压工作电流大小半导体设备技术技术指标测试图片图片设计是独一 要在多24个引脚部达到几乎开尔文高电 压性能技术指标的技术技术指标测试图片图片仪，这样本事关于现下更 高马力半导体元器件的功能定性分析来说就是无价之宝。系 统适用了可源出1000V@20mA（主要20W） 的高线电流大小电压电流大小电压工作电流大小电流大小电压工作电流大小SMU。通过两种高线电流大小电压电流大小电压工作电流大小电流大小电压工作电流大小环路，可进 行会高边电流大小电压工作电流大小精确校正（适用单体SMU源出和 精确校正DUT的高边）或更为重要灵巧度低边小电流大小电压工作电流大小 精确校正（适用一些SMU源出高线电流大小电压电流大小电压工作电流大小电流大小电压工作电流大小至DUT的高 边，另外一个些SMU用作低边0V并精确校正电流大小电压工作电流大小）。

系统架构

每件S530模式运行环境由5层构成：

• 仪器层 – 除了SMU仪器，S530还提供脉 冲产生或进行C-V测量、频率测量，或低 电压测量的选件。
• 通路层 - S530系统提供高保真度信号 通路，测试期间可动态重新配置，使任何 仪器均可连接至任何引脚或引脚组。
• 电缆接口层 - 全部系统互连均采用完全 屏蔽和保护的三轴低漏流、高电压电缆， 确保更高的测量完整性。
• 探针卡适配器 （PCA）层 - 该层提高了 探针卡的屏蔽和保护，确保测量完整性。 此外，PCA为需要直接连接探针卡及必须 旁路信号通路开关矩阵的仪器提供了辅助 输入。
• 探针卡层 - 该层包括探针卡供应商提供 的定制卡。

信号通路

每座S530公测操作平台的管理的本质就是一组应用操作平台转换电电源开关，会拼接设备和公测引脚内 的数字信息的高无假货度的数字信息环路。S530具备有8条高无假货度环路，可以用在于各式各样拼接设备和引 脚。列如，同时可将总共15个SMU设备拼接至随意引脚（或2个引脚）。S530小电 流操作平台应用转换电电源开关引流矩阵计算，在彻底8条环路上供给相一致的能力。S530压力操作平台应用带特 定环路的转换电电源开关引流矩阵计算，供给高工作电压/小漏流在在线测量，甚至C-V在在线测量。请参阅7174A型和 7072-HV数剧表查看相关的英文的数字信息环路的一些过程。 表2. S530信号通路能力

通路类型	关键特性	最大电压	最大电流	备注
小电流 I-V 1	超低漏流	200V	1A	最大受限于200V，提供最佳低电平信号性能 和卓越的C-V性能。
高电压 I-V 2	1300V	1300V	1A	支持低电平测量，但没有小电流通路低。
通用 I-V 2		200V	1A	适合于大多数参数测试，极低电流和/或高电压 测试除外。
C-V 2		200V	1A	卓越的C-V性能，但不适合于直流I-V测量。

1. 仅限小电流系统。
2. 仅限高电压系统。

每件S530模式由5层成分：机器设备、电源开关信号通路、高压电缆接口方式、电极卡配适器和电极卡。

成熟的SMU技术

S530规格测验系统中的所有 源侧量标段（SMU）均应用场景吉时利的高产生的品质 器材水平，加强组织领导安全侧量精准度和反复重复，并延长时间硬件系统使用期限。SMU器材为四象限源，因 此可源出或消化感应电压电流或电压电流额定电压。除去细密源出电线外，还涵盖所有 量限的可语言语言编程规定值 （尊重性），有助于、杜绝电子元配件和检测器可能电子元配件毁坏而毁坏。每台SMU均可在源出的 互相侧量电压电流额定电压和感应电压电流，加强组织领导安全规格计算方式表现真人的状态，而不禁仅是语言语言编程的状态。

系统测量选件

针对更大面积的测试测试构造和估测，S530可搭载指导意见估测选件：

• 电容-电压（C-V）单元 — 能够在 1MHz下测量10pF电容，准确度达 1%。
• 脉冲产生单元 — 可选的脉冲发生 器单元支持开放的负载脉冲幅度从 ±100mV 至±40V，脉冲宽度从100ns 至 1s，脉冲周期从50ns 到200ms。 可以添加多达六个脉冲通道（两个 通道的增量）。添加一到三个双通 道单元到应用，如闪速存储器 测量。
• 频率测量 — 为了测量测试结构， 例如环形振荡器，频率测量选件可 用于S530。该选件使用开关矩阵的 一个端口，旨在允许用户测量环形 振荡器的结构。选件的频率范围从 10kHz 到20MHz，可以测量有效值 从10mV到1V的信号。
• 低电压测量 — 一个可选的7位半 数字万用表（DMM），增强了电压 测量功能，允许从亚-500μV到400V 的差分和非差分电压测量（在S530 高电压系统中高达1000V），用于 测量必须精确测量小电压的结构， 包括范德堡、联系链、金属电阻和 其他设备。

接地单元（GNDU）

所有 SMU检测医疗仪器均以的等电位连接装置机组或 GNDU为基准线点。检测过后，GNDU为 SMU检测医疗仪器源出的直流电出具公共信息基准线点和 双回路。实现組合所有 Source LO和 Sense LO手机卫星信号并使其以模式地为基 准，造成GNDU手机卫星信号。模式可不方便地 采取一些的等电位连接装置模式系统标准配置来进行系统标准配置，以 适用于不一样的的电极台的等电位连接装置体系。

标准9139A探针卡适配器

S530参数指标测式操作系统的规定探头卡替换器（PCA）为成熟稳定的9139A。该PCA 的好多其主要性状和使用性能主要优势使其20多年近年来近年来一直以来都是行业技术型的PCA会选择：

• 低偏移电流，使小电流性能最大化。
• 低噪声性能，有助于保证低电平电压测量的完整性。
• 最小程度介入、小尺寸设计，方便与照相机集成。
• 64路输入—可配置，支持来自于测试仪的标准电缆连接，以及旁路通路矩阵的 仪器的辅助输入。
• 500V引脚间隔离（当仅连接至其他单个引脚时为1000V）

高灵活性接线引出配置

S530体统为“接线图引出来”（cabled-out）配制，能提供了高混后厂子和实验设计室 条件所都要的互连轻松性。这样体统可相接连至繁多有差异 的检测搞定方案设计，分为高性 能半圆测试电极卡、高性价此方形顶部相接连器测试电极卡，甚至是密切相关极温或都要高结实性 的用中的比较特殊高的性能卡。 表4. S530模式相连选件

连接选件	探针卡类型	特性	优势
标准吉时利9139A PCA（S400型）	圆形陶瓷	提高探针引脚的驱动保护	卓越的小电流测量。支持多达64个 引脚：可方便针对其他仪器选件的 辅助输入进行配置
定制电缆，连接至现有PCA类型	通常用于采用边缘卡连接器的5英寸矩形探针卡	兼容现有探针卡库	通过重用现有探针卡，降低迁移费用
无端接电缆	无端接电缆端连接至通路输出	直接连接至现有接口或夹具	提供推荐的电缆，优化系统性能
无电缆	定制探针卡	无需购买电缆	使用定制探针卡厂家提供的电缆系统

9139A型测式探针卡替换器在小于20年的耗时内大受 装修界信任度。其小直流电压值能和高电压值力搭配使其 形成S530性能测式整体的好选定 。

替代探针卡适配器（PCA）

供应使使用于都S530安装的要选 探头卡，简易条件下，使使用对接至 长方形探头卡（基本上指5屏幕尺寸探头卡）的 边角对接器为某个PCA。一些PCA为 中等偏上警报电平的APP供应了最具性价 比的解決工作方案。只需同意，9139A型 PCA适使用为选件安装至多种S530系統。 该PCA方案使使用能够Pogo引脚对接器 将系統对接至方形探头卡（来自五湖四海于经 吉时利好评的零售商）。预购时可同一 与探头台涉及的自适应器基材，以确认 9139A型与常見的探头台恢复兼容。

探针卡

与鉴于检测头的仪器不一样，S530 仪器可简单方便地转变各类各种的测试电极卡 结构类型，故此有还望不根换现阶段（且昂 贵的）测试电极卡库。纵然吉时利介绍安全使用9139A型PCA，以其经实名认证的摄像头卡批发厂家 商品，但9九游 也自觉性到用户账户逐渐对现阶段测试电极 卡去了非常多投入量。假设测试电极卡选用就资 产仪器政策至关比较重要，请资讯应该用团体，了 解才可以守护测试电极卡资金的连结选件。

系统软件

吉时利的S530机设计依耐于吉时利测式方法环 境（KTE）手机app展开测式方法的开发和进行。两个 按照Linux操控的机设计的规格的工农业PC，KTE 融合了吉时利二十多年的数据测式方法经历到其最 新这一代的测式方法机设计。量测子程序和测式方法进度表可 以很非常容易地编写应用、变换、或再一次施用的，辅助 您开机运行另外使开机运行加速度最快。它细化了S530 机设计与主要测式方法机设计9九游 一起可以有效地施用的。S530 手机app涉及到拥有关健的机设计手机app操控的：

• 晶圆描述
• 测试系统开发
• 制定测试规划
• 限值设置
• 具有自动探测器控制的晶圆或提篮水平 测试
• 测试数据管理

提高灵活性的用户操作点（UAPs）

用户的操作步骤的点或UAP能用于修饰考试编码序列 中首要新闻事件的作业步骤，假如“装入晶圆”、 “进行考试”、“终止提篮”等。它这对于增 加系统的化能力素质非常的有价值，假如的使用OCR系统的化读 取晶圆提篮RFIDtag标签或读取数据晶圆ID。考试 期间内，使能的UAP捕获js或可执行力程序流程图中 的一款 或很多个自表述操作步骤的。

系统诊断和可靠性工具

常规执行力确诊，有效确保程序化正常人事情，不 会再次发生异常的通过或不通过辨别。S530程序化 的确诊专业能力尽快、简单便捷地手机检验程序化平台的性。 确诊应用程序中的的关键方法涉及到平台的配置手机检验、流量 表现信号通路检查、表现表现信号通路检查和SMU源侧量检查。 确诊期间乃至涉及到电力电缆主板接口和PCA，以有效确保 详尽程序化的平台的性，确诊应用程序的方案使其能 够验测和准确定位各种各样的程序化发动机故障、时速确诊，将 事情时候最大的化。

高电压仪器保护模块

S530高电流电流控制系统其中包括个1kV的 SMU，也许在DUT的个端子排排施用， 另外释放个200V SMU或CVU到另 个端子排排。若是检查队列或属相相克格的 DUT在低电流电流自动测量议器设备的复制粘贴上发生太高 的电流电流，就也许比较严重摧毁自动测量议器设备。关键在于 将这些错误码危险 降为至少，吉时利的 工作师规划设计了守护控制模块，可防制摧毁 性电流电流摧毁200V SMU自动测量议器设备和CVU， 而不是不良影响其低电平自动测量业务能力。

带RAID镜像驱动的工业PC

就算高达质的固态盘推动也会发 生长见出现问题的，故此时常数据备份软件装置至关 核心。S530软件装置用到了高靠谱性工农业 把握器，还有RAID（独立性电脑磁盘沉余阵列）选件。随着保护有一个主推动器镜 像。当时有突发推动出现问题的时，程序镜像文件推动成 侧重于推动，并通知短信玩家想必请马上安排 换掉推动。用到RAID程序镜像文件推动时，驱 动时有突发出现问题的就象征着需用出台维修部计 划，而不会软件装置暂停。