本页方面:制造行业挑戰 • 内容提要 • 优点和长处 • 元元器件封装封装 • 其主要技术设备依据 • 相应是德品牌
B2201A 可自動执行工作定性深入分析检测的方法,得以缩减检测的方法代价,对半导体材料规格深入检测仪的检测的方法耐腐蚀性有略微会影响。它应用 4 SMU 彻底 Kelvin 配备和滤波电容(电容器)表,并可在未来生活开始拓张。显然,它还有 14 路显示,每路显示都应用独一无二的内外检测的方法相对路径,这其中四公里显示还有特定的滤波电容(电容器)检测的方法补偿金特征参数。它还应用激光脉冲再次等离子发生器等机器设备。大家可应用游戏键盘或供选择光笔经由最前面板开始控制车。
行业挑战
对半导体晶圆上的众多测试结构进行所有必要的参数测量,可能需要耗费大量时间和成本。随着最终用户设备的成本持续下降,甚至实验室表征环境也必须降低测试成本。使用包含半自动或全自动晶圆探头的开关矩阵,可以自动执行表征测试,在每次测试新模块时也无需操作人员手动复位探头。这样既缩短测试时间,又节省测试成本。
许多现有的开关矩阵都有内在的局限性。例如,许多开关矩阵会降低半导体参数分析仪的低电流测量性能,成为测量链中最薄弱的环节。如果内部路径数量不足,那么开关矩阵就无法支持 4 终端完全 Kelvin 测量和电容表,而且每次将测量从 IV 变成 CV 时都需要花很长时间手动改变电缆连接。最后,如果开关矩阵不能对电容测量结果进行补偿,以消除因路径长度而产生的测量失真,那么这些测量结果也将会是不准确的。
摘要
精湛的旋转开关矩阵的特征值功能,比较适中的单价
B2201A 14 安全渠道低氯气泄露触点开关电脑主机具备优秀的低电压氯气泄露和电感衡量能力,还没有许多替代品来应对设计所兼具的的要求。还能鼓励 10 fA 衡量,含意着它都没有厉害下降光电器件基本指标探讨仪的高能力。它的费用相对来说,能为的要求都是是严格的衡量环境具备市场经济科学规范的衡量能力。放入数够多,则能鼓励4-SMU 几乎 Kelvin 调试。所以 14 路放入相对一个的内控根目录,所以能也采用。与许多相似来应对设计多种,它能杜绝各个安全渠道的根目录长多种生产生的兼具显现偏差的原因,为了保证电感衡量报告都没有显现失帧;不仅而且,整体具备了一定要的基本指标和图像匹配来补尝那些文化差异。它的控制器化机构鼓励 12、24、36 或 48 路输出精度调试,采用起來兼具是大的的灵活性多变性。30 MHz 上行带宽使它能采用输入脉冲产生器等分析仪器。额外添加的 LED 表明屏和采用数字键盘或必选光笔参与控住的前边板,使运行相关人员能是灵活性多变地参与运行。
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紧跟半导体参数分析仪性能的步伐
一流的半导体参数分析仪已经达到新的性能水平。B2201A 开关矩阵能够支持 10 fA 测量分辨率,紧跟半导体参数分析仪性能的步伐,而不会严重降低测量性能。
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避免多路复用的测量限制
避免花费很长时间手动切换 B2201A 的 14 条内部测量路径,因而延误测量进度。每路输入都有自己的内部路径,可以同时工作,避免因为在共享路径上多路复用输入所带来的限制。
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准确的电容测量
特别是在测量电容时,电缆长度(包括矩阵中的路径)对测量结果有很大影响。通过使用针对电容测量优化过的两路 BNC 输入,B2201A 开关矩阵主机――与同类解决方案不同――可以校正因为矩阵内部路径长度而产生的误差,提供补偿参数以确保测量结果不失真。
特性和优势
特性 |
优势: |
10 毫微微安(femtoamp)分辨率的电流测量能力 |
开关矩阵不会影响半导体参数分析仪的测量性能。 |
8 路三轴输入和 6 路 BNC 输入 |
支持 4 SMU 完全 Kelvin 配置和电容表,并留出 4 路 BNC 输入用于未来扩展; |
14 条可同时使用的内部路径 |
使您能够同时使用全部 8 路三轴输入和全部 6 路 BNC 输入。 |
电容测量补偿特性 |
校正因为矩阵内部路径长度而产生的误差,使您可以通过开关矩阵准确测量电容。 |
LED 显示屏和可通过键盘或可选光笔进行操控的前面板 |
通过显示矩阵继电器状态以及支持手动更改继电器状态,使您能够对测量结构进行离线调试。 |
30 MHz 带宽 |
您可以通过 B2201A 开关使用脉冲发生器等仪器。 |
元器件
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B2201A 14 通道低泄漏开关主机
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B2211A 14 通道低泄漏开关模块
主要技术指标
B2201A |
技术指标 |
值 |
端口数 |
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I-V 端口 |
8 个三轴端口(包括 Guard 端口) |
AUX 端口 |
6 个 BNC 端口(2 个 CV 端口) |
输出通道 |
可使用三轴端口(包括 Guard 端口)、x12、x24、x36 和 x48 配置 |
插槽数 |
4 个插槽,用于插入 48 毫米高的开关模块 |
B2211A |
技术指标 |
值 |
最大额定电流 |
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I-V 端口 |
1.0 A |
AUX 端口 |
0.5 A |
最大额定电压 |
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I-V 端口(其他通道) |
200V |
I-V 端口(通用) |
300V |
AUX 端口(其他通道) |
100V |
AUX 端口(通用) |
100V |
通道隔离 |
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I-V 端口 |
5 x 10^13(欧姆) |
AUX 端口 |
1 x 10^9(欧姆) |
偏置电流(补充) |
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I-V 端口 |
50 fA |
IM 噪声(RMS)(补充) |
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I-V 端口 |
5 fA |
其他电容测量误差(补充) |
< ± 1 % + 0.2 pF |
带宽(--3 dB 时) |
30 MHz |
稳定时间(补充) |
2.0 秒(300 fA 时)
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