本页其主要内容:这个行业对战 • 小结 • 功能和优质 • 元功率器件 • 其主要能力评价指标 • 有关系是德物品
B2200A 可自动化执行力定量阐述检测,可以缩减检测料工费,一起不容易关系半导体行业参数指标阐述仪的检测机械性能。它能够 4 SMU 充分 Kelvin 配资和电感表,并可在十年后的中国做好突出。前者,它还存在 14 路输人,每路输人都选用拥有的内壁检测方向,在其中双路输人还存在特色的电感检测赔赏属性。它还能够激光脉冲突发器等机器设备。玩家可选装用鼠标或可选装光笔对其进行前边板做好反控。
行业挑战
对半导体器件晶圆上的比较多各种自测图片各种自测图片结构特征采取拥有必要条件的性能指标各种自测图片,也许需用所耗多用时和人工制造费。随之终极业主生产设备的人工制造费保持减低,几乎试验室表现周围环境也都要降底各种自测图片各种自测图片人工制造费。实用包含了半自動或全自動晶圆探测器的控制开关单位矩阵,不错自動执行程序表现各种自测图片各种自测图片,在每晚各种自测图片各种自测图片新输出模块时也暂时无法运行人工人工机械校准探测器。也许既减少各种自测图片各种自测图片用时,又合理利用各种自测图片各种自测图片人工制造费。
很多的涉及的启闭分块行列式的特征值都会内部管理的特殊性性。举列,很多的启闭分块行列式的特征值会拉低光电器件参数设置分析一下仪的低瞬时电流测试能力,为测试链中最薄弱校的阶段。但如何内部管理文件目录比例存在问题,所以启闭分块行列式的特征值就没有办法的支持 4 最终截然 Kelvin 测试和滤波电容器表,况且老是将测试从 IV 就变成 CV 时都必须 花相当长日期自动改善拖链电缆接连。然后,但如何启闭分块行列式的特征值不是对滤波电容器测试結果来进行补上,以削除因文件目录尺寸而形成的测试模糊,所以这样的测试結果也也会就是不准确度的。
摘要
无以伦比的电开关矩阵计算功效
B2200A fA 级低氯气泄露按钮开关冷水机展示 了不错的低直流电氯气泄露和电解电容(电解电容器)预估效能,并没有一些取代缓解细则范文所具备有的控制。并能应该 1 fA 预估,是因为着它不想减少半导体芯片运作分折仪的高效能。输进數量够了多,则应该应该4-SMU 完成 Kelvin 控制系统配资。全部的 14 路输进相当于必然的外部路线,之所以应该另外食用。与一些相似缓解细则范文各个,它应该预防每项短信通道的路线总长度各个生产生的之前精度,为了保证电解电容(电解电容器)预估结果出现不想有偏色;除此以外,控制系统展示 了了有需要的运作和图像匹配来补偿费某些一定的差异。它的模快化组成部分应该 12、24、36 或 48 路读取控制系统配资,食用上来具备有甚大的比较灵催化活性。30 MHz 下行带宽使它应该食用智能时有检测器等测试仪器。额外的 LED 出现屏和食用苹果键盘或自选光笔做好超控的后面板,使运作人应该异常比较灵巧地做好运作。
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紧跟半导体参数分析仪性能的步伐
一流的半导体参数分析仪已经达到新的性能水平。B2200A 开关矩阵能够支持 1 fA 测量分辨率,紧跟半导体参数分析仪性能的步伐,而不会损失任何测量性能。
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避免多路复用的测量限制
避免花费很长时间手动切换 B2200A 的 14 条内部测量路径,因而延误测量进度。每路输入都有自己唯一的内部路径,使您可以同时使用所有输入。
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准确的电容测量
在测量电容时,电缆长度(包括矩阵中的路径)对测量结果有很大影响。通过使用针对电容测量优化过的两路 BNC 输入,B2200A 开关矩阵主机――与同类解决方案不同――可以校正因为矩阵内部路径长度而产生的误差,提供补偿参数以确保测量结果不失真。
特性和优势
特性 |
优势: |
1 毫微微安(femtoamp)分辨率的电流测量能力 |
开关矩阵不会影响半导体参数分析仪的测量性能。 |
8 路三轴输入和 6 路 BNC 输入 |
支持 4 SMU 完全 Kelvin 配置和电容表,并留出 4 路 BNC 输入用于未来扩展; |
14 条可同时使用的内部路径 |
使您能够同时使用全部 8 路三轴输入和全部 6 路 BNC 输入。 |
电容测量补偿特性 |
校正因为矩阵内部路径长度而产生的误差,使您可以通过开关矩阵准确测量电容。 |
LED 显示屏和可通过键盘或可选光笔进行操控的前面板 |
通过显示矩阵继电器状态以及支持手动更改继电器状态,使您能够对测量结构进行离线调试。 |
30 MHz 带宽 |
您可以通过 B2200A 开关使用脉冲发生器等仪器。 |
元器件
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B2200A fA 级低泄漏开关主机
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B2210A fA 级低泄漏开关模块
主要技术指标
B2200A |
技术指标 |
值 |
端口数 |
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I-V 端口 |
8 个三轴端口(包括 Guard 端口) |
AUX 端口 |
6 个 BNC 端口(2 个 CV 端口) |
输出通道 |
可使用三轴端口(包括 Guard 端口)、x12、x24、x36 和 x48 配置 |
插槽数 |
4 个插槽,用于插入 48 毫米高的开关模块 |
B2210A |
技术指标 |
值 |
最大额定电流 |
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I-V 端口 |
1.0 A |
AUX 端口 |
0.5 A |
最大额定电压 |
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I-V 端口(其他通道) |
200V |
I-V 端口(通用) |
300V |
AUX 端口(其他通道) |
100V |
AUX 端口(通用) |
100V |
通道隔离 |
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I-V 端口 |
1 x 10^14(欧姆) |
AUX 端口 |
1 x 10^9(欧姆) |
偏置电流(补充) |
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IV 端口 |
50 fA |
IM 噪声(RMS)(补充) |
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I-V 端口 |
5 fA |
其他电容测量误差(补充) |
< ± 1 % + 0.2 pF |
带宽(--3 dB 时) |
30 MHz |
稳定时间(补充) |
2.0 秒(50 fA 时) |
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