布鲁克Bruker IR300 納米级红外光谱仪仪 长宽高图标图片
各称：光谱图仪
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简介：Dimension IconIR300™ 大样品纳米红外系统为半导体应用提供高速、高精度的纳米级表征，具有无与伦比的功能、样品大小和材料类型灵活性。通过结合专有的光热红外光谱和纳米级AFM特性映射功能，IconIR300能够在最广泛的晶圆和...
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- 产品介绍
Dimension IconIR300™ 大试样納米红外设计为半导体设备器件APP提高高速收费站、高精密度的納米级分析方法，有群星璀璨的职能、试样的大小和资料多种类型利索性。用结合在一起专有的光热红外光谱仪和納米级AFM特点地址映射职能，IconIR300会在比较多泛的晶圆和光掩模试样进取心行自功晶圆查重和偏差快速精确。该设计有明显地将AFM-IR技能的APP优化到半导体设备器件职业各个领域，限制了传统文化技能的时间范围。 IconIR300 设立在 Dimension IconIR 系统的的进阶性大样机架构模式之内，可出具重要性的电子显微镜和生物三维成像，、不断增强的甄别率和机灵度。该系统的与主动化晶圆处置和先进集体的数据显示采集/定性分析系统ibms，可控制制造费更好的时间间隔和制造费并延长制造利用率。
面向半导体行业的卓越纳米级红外光谱和化学成像
只剩下长度微信图标IR300体统展示：
- 全晶圆，无损音乐自动测量200亳米和300亳米晶圆;
- 安全使用与FTIR库会直接各种相关的数据分析明晰辨认半导体技术晶圆和光掩模上的有机酸和无机物nm环保问题物;
- 高质量斜坡极度检测的和纳米技术级产品性能方面镜像;和
基于配方的自动化测量和 KLARF 文件支持，便于用户访问全面数据。
200mm和300mm晶圆的全晶圆测量
9九游 赚取专利申请的现代感AFM-IR格局套件和专有的阀值力攻丝®特征参数影射格局，还有IconIR300的大仿品框架，为很广泛的半导体器件适用提高了极大的仿品敏锐性。IconIR300 可对截面积达 300 mm 的仿品做出全晶圆衡量，衡量范围内广，壁厚和的原材料品类四种各异，涉及：- 充分和硅化物样品英文;
- 纹路化晶圆;
- 裸晶圆;
- 光掩模;和
- 统计资料储备媒介晶圆。
用于半导体应用的最高性能纳米级红外光谱
规格尺寸系统图标IR300提供数据：
- 还具有FT-IR重要性性的精度高等级，丰富多样，详细说明的光谱图，体现对薄危害物的微米级在线测量;
- 多种先进的的操作方法模型，使用重工业和科研用户账户的多种试品检测;
- 高安全性能的AFM-IR光谱仪，半导体技术应运中当先的nm红外格局;和
- 对配位高聚物贴膜进行可靠性的表面层敏感度化学上测试。
晶圆和光掩模上的最高分辨率化学成像
Dimension IconIR300 企业智领的 AFM 能力和布鲁克赢得高新产品的攻丝 AFM-IR 影像一起促进了9九游 納米红外技术设备的地方辨别好坏率和原材料可及性。长宽比华为图标IR300提高：
- <10nm催化服务器分辩率，在对各种分类检样分类采取三维成像，分为软可挥发和三聚氰胺树脂环保问题物;
- 不一样、耐用和高的品质量的信息;和
- AFM-IR技巧在出掉全部的的和全部的设备伪影，有效确保只获取真人真事的检查是否成分表。
用于识别纳米污染物的高级自动化
IconIR300 配备了9九游
专有的 AutoMET® 软件套件，可实现多级自动化，用于实时和离线对各种样品类型的无损 AFM 测量。
关键所在自功化实用功能涉及到：
- 斜坡超高研究分析与nm级资料稳定性映照。
- 光学材料和AFM图像文件传统模式识別;
- 前沿居中;
- 全版的晶圆或网格映支持软件;
- 图片存放精确度在数十奈米三岁;
- 新一轮、简短的食谱编写出;和
- KLARFzip文件拷贝到特点，适用微米红外自動化特点。
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