本文所述的设备、
仪器、系统主要用于对金属加工件的形位误差几何量测量。随着计算机、激光技术、电子学技术的发展和各种高技术多学科的相互渗透,它们由传统的机械式、气动式、电子式发展到光、机、电一体化的综合式,由加工后测量发展到在线监控测量,由接触式测量发展到非接触式测量。术向着自动化、智能化、动态、高精度发展,检测结果向着数字化与图象化发展,体积向着小型化发展,结构向着模块化、单元组合式发展,检测功能向着综合性、多参数、多维发展。
三座标测量机是大型测量设备中较典型的代表,英国、美国、瑞士等国家的产品具有较高的水平。此类的高档产品,国外占据我国80%以上的市场份额,较高和中档水平的产品,我国已经能够满足市场的需要。主要厂家有:青岛前哨布朗公司、上海量具刃具厂、西安爱德华公司、航空精密机械研究所等厂家,其中青岛前哨布朗公司的产品已有较大出口量。目前,三座标测量机的最大缺点是:采用接触式测量方式,影响其精度的提高和使用的广泛性。未来的发展趋势是采用非接触式的测量方式。
目前,我国光电非接触式的检测产品与发达国家相比差距较大,国外典型的厂家有:美国Zygo和Tsi公司,英国Renishaw公司,瑞士Zambach公司,德国Zeiss和Opton公司,日本安立、三菱、松下公司等。它们的精度指标已达到0.1微米,产值以每年10%的速度递增,占据主要的国际市场。国内能够生产这类产品的主要厂家有北京莱格超精光电研究所、莱格光电仪器公司、长春光机学院等厂家。其主要产品有:激光扫描多功能检测仪;通用激光测量仪;形位误差光电综合测量机;激光圆度仪等产品。
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