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仪器中文名称: 超高真空溅射与蒸发
仪器型号规格: JGP450
生产厂商: 中国沈阳科学仪器中心有限公司
国别: 中国
购置日期(年): 2008-3-1
使用日期(年): 2008-9-1
主要技术指标: ① 检测抽速：主溅室40分钟真空度达到6.6×10-4帕；进样室40分钟真空度达到6.6×10-3帕；蒸发室：40分钟真空度达到6.6×10-4帕； ② 检测气路：二路进气，分MFC质量流量计控制进气，手动进气，备有混气室。MFC控制范围：0～100SCCM、0～50SCCM。 ③ 检测镀膜：主溅射室磁控靶辉光放电，在指定样品镀膜，计算机控制镀膜时间；蒸发室：蒸发源可以蒸发材料，在指定样品镀膜。 ④ 检测加热系统：溅射室/蒸发室，室温～600℃，程序控温；进样室退火：退火温度，最高700℃（三室共用一套加热控温系统）。 ⑤ 检测极限真空：主溅射室6.6×10-5帕；进样室6.6×10-4帕；蒸发室8.0×10-5帕。 ⑥ 检测真空漏率：主溅射室/蒸发室，停机关泵12小时后真空≤5帕；进样室停机关泵12小时后真空≤10帕。
主要附件及功能:
本单位该仪器主要应用领域：材料, 地质矿产, 机械工程
检测项目： 单一镀膜、复合镀膜、多层镀膜
收费标准： 面议
