捷欧路JEOL JEM-ARM200F 原子分辨分析型透射电子显微镜标配了照明系统球差校正器,是一款原子分辨分析型透射电镜,拥有世界领先的STEM-HAADF像分辨率(78pm)。标配照明系统球差校正器,且最大限度地提升了装置的机械稳定性和电气稳定性,实现了世界领先的STEM-HAADF像分辨率 (78pm*1、82pm*2)。
捷欧路JEOL JEM-ARM200F 原子分辨分析型透射电子显微镜标配照明系统球差校正器,且最大限度地提升了装置的机械稳定性和电气稳定性,实现了世界领先的STEM-HAADF像分辨率 (78pm*1、82pm*2)。 此外经过球差校正的电子束与一般的场发射透射电镜相比,电流密度可以高出十倍。使用束斑更小、电流密度更大的电子束,能在进行原子水平的元素分析同时,大幅度地缩短测试时间,极大地提高分析效率。
*1 配备冷场发射电子枪 *2 配备肖特基场发射电子枪
捷欧路JEOL JEM-ARM200F 原子分辨分析型透射电子显微镜标配了扫描透射环形明场(STEM-ABF)成像模式,通过STEM-ABF像能直接观察晶体样品中轻元素的原子阵列,还可以同时获取STEM-HAADF像,在样品结构的分析中能够发挥巨大威力
捷欧路JEOL JEM-ARM200F 原子分辨分析型透射电子显微镜配备日本电子制造的100mm²的大面积硅漂移检测器(Silicon Drift Detector:SDD)*3,可以进行快速、高灵敏的EDS元素分析,与经过球差校正的电子束流组合,能进行原子级的元素面分布,在原子水平的分辨率下进行成份分析。
捷欧路JEOL JEM-ARM200F 原子分辨分析型透射电子显微镜的冷场发射电子枪(Cold-FEG)*4配备新开发的真空系统,与传统的冷场发射电子枪不同,Flashing操作后可以马上使用。由于光源小可以获得更高分辨率的图像。此外冷场发射电子枪的能量发散度小,不仅能进行高分辨率的EELS分析,还能降低色差。
捷欧路JEOL JEM-ARM200F 原子分辨分析型透射电子显微镜使用成像系统的球差校正器*5,透射电子像(TEM)的分辨率可以高达110pm。
分辨率 |
扫描透射暗场像 |
82pm(加速电压200kV、肖特基场发射电子枪)
78pm(加速电压200kV、冷场发射电子枪) |
透射像(点分辨率) |
190pm(加速电压200kV)
110pm(加速电压200kV、安装TEM球差校正器) |
倍率 |
扫描透射像 |
X200~X150,000,000 |
透射像 |
X50~X2,000,000 |
电子枪 |
电子枪 |
肖特基场发射电子枪 冷场发射电子枪(选配件) |
加速电压 |
200~80kV(标准200kV、80kV) |
样品系统 |
样品台 |
全对中侧插式测角样品台 |
样品尺寸 |
3mmΦ |
最大倾斜角 |
X轴: ±25° Y轴: ±25°(使用双倾样品杆) |
移动范围 |
X,Y: ±1mm Z: ±0.1mm(马达驱动/压电驱动) |
球差校正器 |
照明系统球差校正器 |
标配 |
成像系统球差校正器 |
选配件 |
选配件 |
主要选配件 |
能谱仪(EDS) 电子能量损失谱仪(EELS)
CCD数码相机系统
TEM/STEM断层扫描系统
双棱镜 |