捷欧路JEOL JBX-3200MV 自动化束光刻操作系统
称谓：其他医疗仪器与工貝
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简介：捷欧路JEOL JBX-3200MV 电子束光刻系统是用于制作28nm～22/20nm节点的掩模版/中间掩模版（mask/reticle）的可变矩形电子束光刻系统。最先进的技术实现了高速、高精度和高可靠性。是基于加速电压50 kV的可变矩形...
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- 产品介绍
捷欧路JEOL JBX-3200MV 电子束光刻系统是用于制作28nm～22/20nm节点的掩模版/中间掩模版（mask/reticle）的可变矩形电子束光刻系统。最先进的技术实现了高速、高精度和高可靠性。是基于加速电压50 kV的可变矩形电子束和步进重复式的光刻系统。利用步进重复式曝光的优点，结合曝光剂量调整功能及重叠曝光等功能，能支持下一代掩模版/中间掩模版（mask/reticle）图形制作所需要的多种补偿。
| 拼接精度 | ≦±3.5 nm |
| 套刻精度 | ≦±5 nm |
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