布鲁克Bruker JVX7300RF-T 半导体材料的计量仪
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简介：JVX7300RF-T特征与小点多通道测量平台光谱仪和快速XRR渠道,为测量薄金属层堆栈产品或毯子晶片。金属的工具是专为高级过程控制和透明的电影线(BEOL)的后端,MEOL和前端的线(FEOL)先进的半导体工艺(逻辑、DRAM、闪存和硬盘...
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- 产品介绍
布鲁克Bruker JVX7300RF-T 半导体计量仪的特征为与小点多通道测量平台光谱仪和快速XRR渠道,为测量薄金属层产品或毯子晶片。金属的工具是专为高级过程控制和透明的电影线(BEOL)的后端,MEOL和前端的线(FEOL)先进的半导体工艺(逻辑、DRAM、闪存和硬盘驱动器过程线)。
FastXRR通道,波束宽度的< 50µm,能够测量再计算。FastXRR无损、非接触式方法,第一原则是理想的测量厚度、密度以及电影和栈的插入中间/表面粗糙度测量结果。它可以用于分析种子/障碍的电影,与两层的厚度决定独立于一个单一的测量。
小点光谱仪频道,光斑大小的< 25µm,能够测量计量垫的要求最高,甚至映射在一个铜碟形垫。
如果您需要布鲁克Bruker JVX7300RF-T 半导体计量仪及布鲁克品牌仪器、或者其他品牌仪器，均可联络我司销售部门：0731-84284278 84284378。
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