使用吉时利4200A-SCS参数分析仪(参数测试仪) 加快各类材料、半导体器件和先进工艺的开发,完成制程控制、可靠性分析和故障分析。 4200A-SCS是业内性能领先电学特性半导体参数分析仪,提供同步电流电压曲线测试(IV曲线测试)、电容电压曲线测试(CV曲线测试)和超快脉冲IV曲线测量。
直流电流-电压(I-V) 范围
10 aA - 1A
0.2 µV - 210 V
电容-电压(C-V) 范围
1 kHz - 10 MHz
± 30V 直流偏置
脉冲 I-V范围
±40 V (80 V p-p),±800 mA
200 MSa/s,5 ns 采样率
Keithley吉时利 半导体参数分析仪4200A-SCS主要性能指标
I-V 源測量单元测试(SMU)
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± 210 V/100 mA 或 ± 210 V/1 A 模块
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100 fA测量分辨率
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选配前端放大器提供了 10 aA测量分辨率
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10 mHz - 10 Hz 超低频率电容测量
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100 μF负载电容
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四象限操作
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2 线或 4 线连接
C-V 多频率电容单元(CVU)
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AC 阻抗测量 (C-V, C-f, C-t)
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1 kHz - 10 MHz 频率范围
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± 30 V (60 V差分)内置DC偏置源,可以扩展到± 210 V(420 V 差分)
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选配 CVIV 多通道开关,在 I-V 测量和 C-V 测量之间简便切换脉冲式I-V 超快速脉冲测量单元(PMU)
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两个独立的或同步的高速脉冲 I-V 源和测量通道
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200 MSa/s,5 ns 采样率
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±40 V (80 V p-p),±800 mA
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瞬态波形捕获模式
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任意波形发生器 Segment ARB® 模式,支持多电平脉冲波形,10 ns 可编程分辨率
高压脉冲发生器单元(PGU)
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两个高速脉冲电压源通道
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±40 V (80 V p-p),± 800 mA
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任意波形发生器 Segment ARB®模式,支持多电平脉冲波形,10 ns 可编程分辨率I-V/C-V 多通道开关模块 (CVIV)
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在 I-V测量和 C-V 测量之间简便切换,无需重新布线或抬起探针
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把 C-V测量移动到任意端子,无需重新布线或抬起探针远程前端放大器/ 开关模块(RPM)
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在 I-V 测量、C-V 测量和超快速脉冲 I-V 测量之间自动切换
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把 4225-PMU的电流灵敏度扩展到数十皮安
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降低电缆电容效应
参数查看,快速清晰。
4200A-SCS 参数指标具体软件考试仪从设定到进行检定软件考试的的时间抑制敢达 50%,可以达到群星璀璨的检测和具体介绍效果。除此之外,置入式检测非常专业内容出具群星璀璨的软件考试培训,并让您对终结结杲散发数据。
优势
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用于 DC IV、CV 和脉冲 IV 测量类型的高级测量硬件
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立即使用 Clarius 软件中所含的数百种用户可修改应用程序测试开始测试
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自动实时参数提取、数据绘图、分析函数
准确的 C-V 表征
适用吉时利最新的的电解电阻-电压降单园 (CVU) 4215-CVU 在线测试以为数飞法。展开将 1 V AC 开关电源ibms到吉时利的行业遥遥领先的 CVU 体系结构中,4215-CVU 可在 1 kHz 至 10 MHz 的平率下展开低环境噪声电解电阻在线测试。
基本特征
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同类产品中首款能够驱动1 V AC 电源电压的 CV 表
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1 kHz 频率,分辨率从1 kHz 到 10 MHz
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测量电容、电导和导纳
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使用 4200A-CVIV 多路开关最多可测量四个通道
测量、 切换、 重复。
4200A-CVIV 多车道設置摸块自主在 I-V 和 C-V 測量中設置,不能自己继续铺线或抬起感应器顶部。 与恶性竞争物料不同于,四车道 4200A-CVIV 体现器带来地方可视查看手机,可更快的完工各种测试設置,并在造成意想不来的结局时简单排除错误错误。
特别
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无需重新布线即可将 C-V 测量移动到任何设备终端
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用户可配置低电流功能
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个性化输出通道名称
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查看实时测试状态
稳定的低电流测量,适用于 I-V 检定
运用 4201-SMU 和 4211-SMU 电源组件,您就可以在高电阻系统软件中改变增强的低工作电流量估测。4200A-SCS 有哪几种具体型号的源估测院校 (SMU) 可供取舍,可进行开发符合您各种的 I-V 估测需求分析。进行展示 实地可按照第一单元和可选装的预拖动器电源组件,Keithley 可保持您获取最精确性的低工作电流量估测,而停止时期限不存在甚至于不存在。
作用
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不必将仪器送回工厂即可增加 SMU
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进行 飞安测量
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多达 9 个 SMU 通道
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针对长电缆或大卡盘进行了优化
带分析探测器和低温控制器的集成解决方案
4200A-SCS 技术指标数据测试仪能够多数自动化和手动化晶片监测器和低溫环境掌握器,属于 MPI Cascade MicroTech、Lucas Labs/Signatone、MicroManipulator、Wentworth Laboratories、LakeShore Model 336 低溫环境掌握器。
优势
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“点击”测试定序
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“手动”探测器模式测试探测器功能
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假探测器模式无需移除命令即可实现调试