日立 H-9500 散发出電子高倍显微镜
简称：光电器件测试方法检测仪器
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简介：原子分辨率300kV透射电子显微镜在精细加工技术已进入到亚纳米级水平的半导体，先进材料的研发领域，原子分辨率电子显微镜正在成为日益重要的，不可或缺的工具。为了满足这种高端需求，日立高新技术公司研发出了H -9500透射电子显微镜，此款高分辨...
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- 产品介绍
原子分辨率300kV透射电子显微镜在精细加工技术已进入到亚纳米级水平的半导体，先进材料的研发领域，原子分辨率电子显微镜正在成为日益重要的，不可或缺的工具。为了满足这种高端需求，日立高新技术公司研发出了H -9500透射电子显微镜，此款高分辨透射电子显微镜不仅具备实地验证过的各种优秀性能，而且配置了很多满足客户多种需求的独特功能，并采用了最新的数字技术，便于用户及时快速获取原子水平的样品结构信息。
原子分辨率300kV透射电子显微镜
在精细加工技术已进入到亚纳米级水平的半导体，先进材料的研发领域，原子分辨率电子显微镜正在成为日益重要的，不可或缺的工具。为了满足这种高端需求，日立高新技术公司研发出了H -9500透射电子显微镜，此款高分辨透射电子显微镜不仅具备实地验证过的各种优秀性能，而且配置了很多满足客户多种需求的独特功能，并采用了最新的数字技术，便于用户及时快速获取原子水平的样品结构信息。
备注：FPD（平板显示器）上的图像为模拟图像。
（*）:Windows®是微软公司在美国及其他国家所注册的商标。
| 分辨率 | 0.10nm（晶格分辨率） | |
| 0.18nm（点分辨率） | ||
| 加速电压 | 300kV, 200kV（*1）, 100kV（*1） | |
| 放大倍率 | 连续放大模式 | 1,000 - 1,500,000× |
| 选区模式 | 4,000 - 500,000× | |
| 低倍模式 | 200 - 500× | |
| 电子枪 | 灯丝 | LaB6（六硼化镧灯丝，直流加热） |
| 灯丝交换 | 自动升降式电子枪 | |
| 高压电缆 | 阻抗电缆 | |
| 照射系统 | 透镜 | 四级透镜 |
| 聚光镜光阑 | 4孔可变 | |
| 探针尺寸 | 微米束模式：0.05 - 0.2µm（4级） | |
| 纳米束模式：1 - 10nm（4级） | ||
| 电子束倾斜 | ±3° | |
| 成像系统 | 透镜 | 五级透镜 |
| 聚焦 | 图像摇摆调整 | |
| 利用像散监视器进行正焦补偿 | ||
| 聚焦优化 | ||
| 物镜光阑 | 4孔可变光阑 | |
| 选区光阑 | 4孔可变光阑 | |
| 电子衍射 | 选区电子衍射 | |
| 纳米探针电子衍射 | ||
| 会聚束电子衍射 | ||
| 相机长度 | 250 - 3,000mm | |
| 样品室 | 样品台 | 5轴优中心海帕测角台 |
| 样品尺寸 | 3mmΦ | |
| 样品位置追踪 | X/Y = ±1mm, Z = ±0.3mm | |
| 通过CPU控制马达驱动 | ||
| 样品位置显示 | 自动驱动，自动跟踪 | |
| 样品倾斜 | α = ±15°, β = ±15° | |
| （日立双倾样品台（*2）） | ||
| 防污染 | 冷阱 | |
| 烘烤功能 | 中温烘烤功能 | |
| 观察室 | 荧光屏 | 主屏：110mmΦ |
| 聚焦屏：30mmΦ | ||
| 目镜 | 7.5× | |
| 照相室 | 区域选择 | 整张照相/半张曝光 |
| 胶片 | 25张（2套胶片盒） | |
| 图形用户界面 | 操作系统：Windows XP®（*3） | |
| 显示器 | 19英寸显示器 | |
| 功能 | 数据库，测量，图像处理 | |
| 数码CCD 相机（*4） | 相机耦合 | 透镜耦合 |
| 有效像素 | 1,024 × 1,024 像素 | |
| A/D 分辨率 | 12 位 | |
| 真空系统 | 电子枪 | 离子泵：60L/s |
| 镜筒 | 涡轮分子泵：260L/s | |
| 观察室/照相室 | 扩散泵：280L/s | |
| 前级泵：135L/min × 3 台 | ||
（*1）：放大倍率校准为可选项
（*2）：可选件
（*3）：Windows XP是微软公司在美国和其他国家的注册商标
（*4）：本规格适用于可选的1,024 × 1,024像素的数码CCD相机
以上规格是在加速电压为300kV时的承诺
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