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校正压电式式微压感知器灵敏性度的新技巧

2015-08-11
0 引言

众所周知,压电式压力传感器的性能主要用瞬变压力信号发生器和正弦信号发生器测量。瞬变压力信号发生器是指产生阶跃波或其他非周期信号的压力发生器,目前,主要用激波管阶跃压力发生器,它利用激波在流体中传播或者在一个刚性表面上反射产生阶跃压力,以激发传感器的自振,它尤其适用于测量高频响应的压力传感器。正弦信号发生器是一种产生正弦压力信号的装置,分为以下几类:

(1)谐振空腔测量法:这种方法通常采用活塞、汽笛等激发密闭空腔的空气振动,产生周期变化的压力。一般谐振空腔的压力在峰值较小,而且,频率很低的情况下才是一个良好的正弦波,当压力峰值较大,频率较高时波型失真;

(2)非谐振空腔测量法:其工作原理是设法调制通过容器的气流而产生周期变化的压力;

(3)喇叭式压力发生器:动圈式喇叭通电后产生振动,使空气耦合腔内的气压作正弦变化,形成波动的声压信号。

这些经济负荷传红外感应器器的侧量最简单的方法,激波管阶跃经济负荷时有导致器正常使用于脉冲电流、丰富程经济负荷传红外感应器器的测得,是现如今APP大面积的经济负荷检定器。谐振空腔和非谐振空腔式的余弦预警时有导致器主要是因为在脉冲电流、各类高压的必备条件 下,波形图参数极其严重突变,故正常只使用于小经济负荷或脉冲电流面积的侧量,但该控制系统的极其较为复杂。扬声器式经济负荷时有导致器可导致波形图参数优质的脉冲电流经济负荷,但热空气中的声压较小,侧量误差度不大。故此,实行的侧量器中暂未理想型的侧量压电式微压传红外感应器器敏感度的控制系统的。 现阶段,压阻式微压传红外感应器器趋势飞速,新研制成功出的这一类传红外感应器器由利用压阻单晶硅片设计,并内嵌式前置摄像头拖动器,拖动衰弱数据信息并体现输出阻抗改换,因而使传红外感应器器兼备量限小、精准度较高、抗电磁干扰性好等特别。之类传红外感应器器已密切在脉率、管子规格负荷下跌等很小数据信息的检则,所以,急切是需要那种简易的精确校正装备精确校正传红外感应器器的特点。对这个,小编深入探讨水的声音精确校正原水听器的校正技巧,说出用油腔下跌声压精确校正压阻式微压传红外感应器器的精准度及频响。

1 测量系统及原理

1.1 测量系统

压电式微压传感器灵敏度及频响的测量系统由信号发生器,功率放大器、测试腔和示波器组成,如图1所示。测试腔为圆桶状,底部装有声发射换能器,上盖安装标准传感器和被测传感器,腔内充满硅油。信号发生器产生正弦信号,通过功率放大器放大信号功率,输入发射换能器,驱动换能器振动并产生声波。标准传感器和被测传感器同时接收波动信号,其输出分别通过示波器通道1和通道2示出,比较示波器两通道输出波形的峰值电压,即可测量被测传感器的灵敏度。调整信号发生器的频率,可测量灵敏度随频率的变化情况,获得传感器的频响特性。

  图1??? 压阻式微压感应器器在测量系统性

1.2 原理

主要包括间接地相对较法在在线测量感测器器的灵敏性度,在声场一致的油腔内,距导弹源同一的距离处摆放在标准单位感测器器和被测感测器器,两感测器器还接收入换能器导弹的声波频率电磁波,用示波器不同在在线测量2只感测器器的传输基线输出功率V标和V测,得到了V标/V测=M标/M测,即 M测=M标/V测/V标, (1) 式中M标和M测主要为原则调节器器和被测调节器器的流畅度,V/Pa;V标和V测为原则水听器和被测调节器器的的输出相电压,V。由式(1)可求算出被测调节器器的流畅度。

2 实验

实验用标准传感器采用压电陶瓷球状水听器,它是一种接收声波信号的压力传感器,经国家一级水声计量站标定,水听器的灵敏度M标=87.1μV/Pa,灵敏度的不确定度为±5μV/Pa,谐振频率大于60kHz。虽然水听器的工作频带较宽,但测量系统的工作频率上限受油腔尺寸的限制。通常腔体的设计尺寸应不大于四分之一波长,以保证腔内声场的均匀性,系统的工作频率高,腔体的尺寸小,限制了被测传感器的尺寸。系统的测量频率理论上不存在下限,但实际中腔内的发射器在低频时发射功率较低,信噪比较小,限制了频率下限。本实验系统的设计频带为20Hz~4kHz。

实验室供试品进行东莞短信工程建筑教育研发的YLC-A型压电式式微压感应器应器器,供试品数为3只。将感应器应器器装置在考试腔盖供试品马路上,传输端与腔盖紧的供试品传输引线拼接,扣紧腔盖,按图1表达拼接软件系统。通过感应器应器器封柜外置扩大器,需展示 直流变压器主机电岗位,主机电加在腔盖紧被测感应器应器器传输端。调低数据出现器引发正弦交流电数据,数据降幅不可以过大,以尽量不要感应器应器器传输模糊。的选择好几个数据帧率,分开 衡量每一家帧率点两感应器应器器的传输输出功率,在1kHz处示波器上的原则感应器应器器正弦正弦波形(1)的峰-谷值输出功率为145.5mV;被测感应器应器器正弦正弦波形(2)的峰谷值输出功率为5.85V。将V标和V测代入式(1)算出被测感应器应器器的精准性度。通过核算最终结果画出感应器应器器的精准性度随帧率波动拟合曲线,如图已知2表达,然而受到感应器应器器的帧率运行规模。

    图2 感测器器高灵敏度度侧量线性 为论文检测校正体统的按顺序性,开展实验对1#调节器器开展了按顺序校正,图3示出2次校正的迅敏度变折线。

  图3 1#传调节器器几次流畅度精确测量申请这类卡种曲线提额

3 结论

(1)所采用饱满声腔硅油媒介中传递的音波为负担源,用较法较标感应器器和被测感应器器的效果,但是有效地测定压电式式微压感应器器的迅敏度及的速率回复性质。3只感应器器的测定迅敏度依次为3.05,2.98,2.98mV/Pa,迅敏度下跌需小于0.5mV/Pa,的速率回复范围内为20~2000Hz。

(2)从图4可看出:油腔波动声压测量系统同一样品的2次测量数据(灵敏度及频率响应范围)重复性较好,偏差小于0.24mV/Pa。由于测量介质为硅油,每个样品需置于硅油中测试,测完后需进行清洗,使用不便。下一步应完善测试系统,设计防油透声层保护被测传感器免于接触硅油,以简化操作。



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