Accexp透明网片的厚度测量解决方案可以使用纳米分辨率,而且可以在不接触目标的情况下测量厚度。Accexp透明网片的厚度测量解决方案的特点就是精度高,可以测量5um厚度,而且可以测量多层薄膜。
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ACCEXP-SI-F 系列
徵型传感器头型分光干预式 缴光位移计
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庄重开发工业界超微小型调节器头,其都有这类服务中较高的预估精准度,并保持了过来认定无法能保持的效果。
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ACCEXP-SI-F80R 系列
分光干涉现象式晶片它的厚度计
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应用近红外 SLD,及时已贴附 BG 带也可量测晶片实际上的它的厚度。及时晶片表面层长期存在由图案设计而发生的同质性地域差异,也可控制明确的生产的在线量测。